FEI公司先进的DoubleBeam双束扫描电镜,可用于纳米尺度超高分辨率成像、分析和制造。
最新产品创新的ElstarTM电子镜筒构成Helios NanoLab高分辨率成像的基础。可实现高热量稳定性的恒定功率透镜、可实现更高探测线性和速度的静电扫描以及可实现各种条件下的超清晰成像。改进的穿透透镜探测器(TLD)用于探测最高采集效率的SE(二次电子)和轴BSE(背散射电子),探测器套组包括可伸缩的的固态背散射探测器和多分段STEM探测器。健全、精确的 FIB 切片以及高度精密的压力驱动的样品台和卓越的SEM 性能开启新一代自动软件的大门,可在无人值守的情况下实现样品制备或三维特征分析。同时安装冷冻装置,可以进行冷冻样品的制备和成像。
Helios NanoLab 600i 装配改进的 xT 软件平台,可满足偶然用户和 FIB 专家的易用需求。