冷场发射扫描电子显微镜

　　生化工程国家重点实验室装备冷场发射扫描电子显微镜，该设备由真空系统、电子光学系统、二次电子探测器、背散射电子探头、附件和零部件等组成。其工作原理为利用冷场发射产生的电子束对材料表面进行扫描，并检测电子束激发表面产生的二次电子和背散射电子，确定样品表面的微观形貌。

　　主要技术参数：二次电子像分辨率：1.0nm(15KV)，2.2nm(1KV)；背散射电子像分辨率：3.0nm (15KV, WD=8mm)；放大倍数：×25 ~ ×650,000；加速电压：0.5KV ~ 30KV；束流：10-13A ~ 2×10-9A；数字图像采集系统分辨率：1280×1024。

　　管理员：陈延华。放置地点：生化科研实验楼（新楼）102室。